电子束蒸发镀膜用MHC合金

MHC合金图片

电子束蒸发镀膜用MHC合金(Molybdenum Hafnium Carbon Alloy,钼铪碳合金)是一种适用于高能电子束蒸发与真空镀膜环境的钼基弥散强化高温结构材料。在电子束蒸发过程中,材料处于局部高温熔融与强辐射加热状态,蒸发源及其支撑结构需长期承受高热流密度、反复热冲击及金属蒸汽侵蚀,对材料提出高熔点稳定性、低蒸气压、抗熔蚀能力及尺寸稳定性等综合要求。

1.中钨智造电子束蒸发镀膜用MHC合金的优点
(1)高温结构稳定性强,在电子束局部高温作用下仍保持良好形状稳定性。
(2)抗熔蚀性能优异,HfC弥散相提升材料抗金属蒸汽冲刷能力,延长蒸发源寿命。
(3)低蒸气压特性,有效降低高真空镀膜过程中的材料污染与杂质引入。
(4)热冲击抗力强,可承受电子束快速加热与冷却循环,减少裂纹风险。
(5)热导性能稳定,有助于蒸发源温度均匀分布,提高镀膜稳定性。

2.中钨智造MHC合金在电子束蒸发镀膜中的应用
(1)蒸发源坩埚座、回转盘及工装夹具:用于承载蒸发材料、固定工件,在高温下长效保持尺寸稳定和精确的动平衡。
(2)电子枪防护罩与隔热屏:用于阻挡散射电子束和高温辐射,有效保护腔室内壁及精密传动部件。
(3)高温辅助加热系统与热场匀热部件:用于辅助加热和导热,利用其高热导率实现热场的极致均匀性,提高镀膜一致性。

3.中钨智造电子束蒸发镀膜用MHC合金的规格
供应形态:MHC合金板、片、圆棒、圆盘、管、环及定制件
尺寸:可按图纸或炉膛需求定制
表面状态:车光、磨光、精密抛光

中钨智造深耕钼及钼合金制造领域近30年,通过粉末冶金成分设计与高温致密化及精密热加工工艺,实现材料组织均匀性、低蒸气压稳定性及高温性能一致性控制。MHC合金板、片、圆棒、圆盘、管、环及定制件适用于电子束蒸发镀膜设备关键热端结构,可满足高纯薄膜制备对稳定蒸发与低污染环境的长期要求。

 

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